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金相顯微鏡LW400LMDT
 
   
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上海測維金相顯微鏡LW400LMDT

大工作臺,5孔5物鏡,明暗場5X 10X 20X 50X 80X

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大平臺無窮遠芯片檢查金相顯微鏡LW400LMDT上海測維產品簡介:
大平臺無窮遠芯片檢查顯微鏡是適用于半導體晶圓的檢驗、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)??蛇M行偏光與明視場、暗視場觀察轉換。專門設計的大移動范圍載物臺,移動范圍:8"×8"(204mm×204mm),滿足半導體行業(yè)的需求。粗微動同軸調焦機構,粗動松緊可調,帶限位鎖緊裝置,微動格值:0.7μm。三目鏡筒,可進行100%透光攝影。

標準配置

技術規(guī)格

目鏡

大視野 WF10X(視場數(shù)Φ22mm)

無限遠長距平場消色差物鏡

LW400LJT
(配明場物鏡)

PL L5X/0.12 工作距離:26.1 mm

PL L10X/0.25 工作距離:20.2 mm

PL L20X/0.40 工作距離:8.80 mm

PL L50X/0.70 工作距離:3.68 mm

PL L80X/0.80 工作距離:1.25 mm

LW400LMDT
(配明/暗場物鏡)

PL L5X/0.12 BD 工作距離:9.70 mm

PL L10X/0.25 BD 工作距離:9.30 mm

PL L20X/0.40 BD 工作距離:7.23mm

PL L50X/0.70 BD 工作距離:2.50 mm

PL L80X/0.80 BD 工作距離:1.25 mm

目鏡筒

三目鏡30?傾斜, 可100%通光攝影

落射照明系統(tǒng)

LW400LJT

6V30W鹵素燈,亮度可調

LW400LMDT

12V50W鹵素燈,亮度可調

內置視場光欄、孔徑光欄、(黃、藍、綠、磨砂玻璃)濾色片轉換裝置,推拉式檢偏器與起偏器

調焦機構

粗微動同軸調焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:0.7μm

轉換器

五孔(內向式滾珠內定位)

載物臺

機械式載物臺,外形尺寸:280mmX270mm,移動范圍:橫向(X)204mm,縱向(Y)204mm

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