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大平臺無窮遠(yuǎn)芯片檢查金相顯微鏡LW400LJT上海測維產(chǎn)品簡介：
大平臺無窮遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡是適用于半導(dǎo)體晶圓的檢驗(yàn)、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)?？蛇M(jìn)行偏光與明視場、暗視場觀察轉(zhuǎn)換。專門設(shè)計(jì)的大移動范圍載物臺，移動范圍:8"×8"(204mm×204mm)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求。粗微動同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值:0.7μm。三目鏡筒，可進(jìn)行100%透光攝影。
標(biāo)準(zhǔn)配置
| 技術(shù)規(guī)格 | |||
| 目鏡 | 大視野 WF10X(視場數(shù)Φ22mm) | ||
| 無限遠(yuǎn)長距平場消色差物鏡 | LW400LJT （配明場物鏡）
| PL L5X/0.12 工作距離：26.1 mm | |
| PL L10X/0.25 工作距離：20.2 mm | |||
| PL L20X/0.40 工作距離：8.80 mm | |||
| PL L50X/0.70 工作距離：3.68 mm | |||
| PL L80X/0.80 工作距離：1.25 mm | |||
| LW400LMDT （配明/暗場物鏡）
| PL L5X/0.12 BD 工作距離：9.70 mm | ||
| PL L10X/0.25 BD 工作距離：9.30 mm | |||
| PL L20X/0.40 BD 工作距離：7.23mm | |||
| PL L50X/0.70 BD 工作距離：2.50 mm | |||
| PL L80X/0.80 BD 工作距離：1.25 mm | |||
| 目鏡筒 | 三目鏡30?傾斜, 可100%通光攝影 | ||
| 落射照明系統(tǒng) | LW400LJT | 6V30W鹵素?zé)?，亮度可調(diào) | |
| LW400LMDT | 12V50W鹵素?zé)?，亮度可調(diào) | ||
| 內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置，推拉式檢偏器與起偏器 | |||
| 調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微動同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:0.7μm | ||
| 轉(zhuǎn)換器 | 五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) | ||
| 載物臺 | 機(jī)械式載物臺，外形尺寸：280mmX270mm，移動范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm | ||
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