雙溫區(qū)管式爐OTF-1200X-II合肥科晶產(chǎn)品簡介:
OTF-1200X-II是通過CE認證的雙溫區(qū)管式爐,其最高溫度可達到1200℃,并可通過調(diào)節(jié)兩個溫區(qū)的控溫程序使爐管內(nèi)溫場形成一溫度梯度。兩個溫區(qū)分別由兩個獨立的溫控系統(tǒng)來控制,而且都為PID30段程序化控溫。此系列管式爐可以用CVD方法來生長納米材料和制備各種薄膜。
雙溫區(qū)管式爐OTF-1200X-II合肥科晶產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
名稱
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1200℃雙溫區(qū)開啟式管式爐OTF-1200X-II
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視頻
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爐體結(jié)構(gòu)
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·采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃
·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)
·可選購石英管堵及石英坩堝,可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度(圖三、四)
·設(shè)有開門斷電功能,提高實驗安全性(圖五、六)
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圖五 |
圖六 |
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基本參數(shù)
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熱偶:K型熱偶 建議升溫速率:≤10℃/min
溫度:1100℃ (1200℃<1h) 電源:AC220,50Hz 最大功率:3KW
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高純石英管尺寸
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·高純石英管尺寸:
·25 O.D x 19 I.D
·50 O.D x 44 I.D
·60 O.D x 55 I.D
·80 O.D x 75 I.D
·100 O.D x 95 I.D
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加熱區(qū)
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加熱區(qū)長度:400mm (雙溫區(qū):200mm+200mm)
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加熱元件
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摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命)
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密封法蘭
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·采用一對SS304不銹鋼真空法蘭與高溫硅膠密封圈密封
·兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上(下圖)
·一個真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭(下圖)

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可選
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1.法蘭上標配安裝的是Φ8的寶塔嘴接頭
2.為了獲得較好的抽氣速率可以配用KF25的轉(zhuǎn)接頭
3.為了較好地向爐管中通入氣體可以配用1/4"的不銹鋼卡套接頭
·可選:您可以選購kf25真空口法蘭(圖二)
·可選:您可以訂購法蘭支架(圖三)
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溫控系 統(tǒng)
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·包含一款YD518P型溫度控制器
·PID自動控溫系統(tǒng)
·智能化30段可編程控制
·控溫精度:±1℃
·兩個溫區(qū)分別有兩個獨立的溫控系統(tǒng)控制
·默認DB9 PC通信連接端口
·通過MET認證
·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

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溫度校準(可選)

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·定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括
·48”L(1/4”OD)K型熱電偶校準
·一Omega溫度校準器
·熱電偶補償線

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外形尺寸
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1250 L x 380W x 520 H mm
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凈重
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約45Kg
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質(zhì)保期
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一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
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真空系統(tǒng)
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·通過機械泵可達到50mTorr
·通過分子泵泵可達到10E-5 Torr
·可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染

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質(zhì)量認證
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所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。
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使用注意事項
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·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

·當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當
·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
·石英管的長時間使用溫度<1100℃
·對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
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