合肥科晶快速升溫爐OTF-1200X-4-RTP

名稱

900℃小型RTP爐--OTF-1200X-4-RTP

產(chǎn)品提示

 1、圖片未及時更新提示   2、多種配件可選提示   3、危險設備操作提示

視頻

基本參數(shù)

工作溫度：最高900℃（<10min）； 

800℃（<30min）；600℃（長期） 

加熱區(qū)：加熱區(qū)長度190mm 

熱偶：進口K型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下 

電源：AC220V, 50Hz 單相, 最大功率12KW (> 60A 保險) 

爐體結(jié)構(gòu)

·帶風冷的雙層鑄鋼外殼使得爐體表面溫度低于60℃（參考值） 

·爐膛采用高純的氧化鋁纖維，最大程度上減少了熱量的損失

·不慎在加熱過程打開爐蓋，配備的連鎖保護開關(guān)會自動切斷電源 

·內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

加熱元件

8 根紅外燈管 (每個燈管功率1.5KW）

升溫降溫速率

最快升溫速率：

室溫~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s 

最快降溫速率：

60℃/min (在 200 mtorr下), 117℃/min (在一個大氣壓下)

最慢降溫速率10℃/min

溫控系統(tǒng)

·包含一款808P型溫度控制器 

·PID自動控溫系統(tǒng) 

·智能化30段可編程控制 

·控溫精度：±1℃ 

·默認DB9 PC通信連接端口 

·通過MET認證 

可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)。

溫控系統(tǒng)（可選）

·可選購歐陸型溫控儀表，控溫精確度可以提升到±0.1℃。 

·具體詳情請致電公司銷售。  

石英管和樣品架

·石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length 

·AlN 具有很高的熱導率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性±5℃ 

·可選：3"O.D的石墨襯底替代AlN陶瓷片 

·可選：將含坩堝蓋蓋規(guī)格為87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩堝設計三個坩堝架，則可被改造成一個RTE,CSS或HPCVD爐，另外石墨坩堝表面涂有SiC涂層。 

·樣品架也可從法蘭上拆卸，與其他類型RTP爐配套使用。 

·一片3" AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。 

·3" 的樣品架固定在滑動法蘭上，材質(zhì)為石英材料。

真空法蘭

· KF-25D型不銹鋼高真空法蘭上配有兩個高溫硅膠O形圈并安裝有針閥和水冷套。 

·在冷卻水開啟的情況下設備可長期在≦600℃溫度下工作。 

·循環(huán)水流量:0.5 m3/h（參考值） 

·法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作，取放樣品簡單便捷，同時也可滿足其他特殊工藝的要求。

·可插入式的鎧裝熱電偶，使測得樣品溫度更加精確。

真空系統(tǒng)（可選）

·用機械泵真空度達 50 mtorr （參考值） 

·用分子泵真空度可達 10E-4 torr （參考值）

水冷機（可選）

如果您沒有水冷機，選購一臺冷卻機是必要的。 

·我們建議采用循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（可節(jié)約用水）.

流量計

標配流量計量程范圍：16 - 160 ml/min

真空表

此設備標配一個機械壓力表 

可選配其他數(shù)字真空計，具體請點擊下方圖片或咨詢銷售部

注意

此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā)）爐（可查看下方的圖片自己制備RTE）

尺寸

760（L）×330（W）×530（H） mm （法蘭關(guān)閉）

1200（L）×330（W）×530（H） mm （法蘭打開）

凈重

70Kg

保修期

一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

認證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

國家專利

專利名稱：一種快速高溫退火爐 

專利編號：ZL-2011-2-0077168.4 

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究

可選

您可以將RTP爐，真空泵及混氣系統(tǒng)搭建組合為真空爐或CVD系統(tǒng)（點擊下面的圖1和圖2查看詳細信息)為帶氣氛保護下得到較快的降溫速度 <10℃/s, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐，如下圖3

你可選購壓力控制模塊(點擊圖片4)來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。

圖1	圖2	圖3	圖4

使用注意事項

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 

·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。（請點擊這里學習如何安裝減壓閥） 

·當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) 

·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 

·石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 

·對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

·這款爐子也可以被改造成RTE,CSS或HPCVD爐使用，同時石墨坩堝被碳化硅涂層(點擊下圖了解如何自行搭建RTE爐)

·在進行化學氣相沉積后，石墨烯可從金屬催化劑轉(zhuǎn)移到另一個基片襯底上，此法可被廣泛應用制備二維材料。通過CVD法生長的石墨烯，表面平整度高且無殘渣。