合肥科晶1100℃三溫區(qū)大口徑管式爐GSL-1100X-XX-III

名稱

1100℃三溫區(qū)大口徑管式爐GSL-1100X-XX-III

設(shè)備型號

GSL-1100X-6-III

GSL-1100X-8.5-III

GSL-1100X-11-III

高純石英管尺寸

152 OD x 143 ID x 1300mm L

216 OD x 206 ID x 1300mm L

279 OD x 269 ID x 1300mm L

石英舟（可選）

最大可兼容4”直徑基片

最大可兼容6”直徑基片

最大可兼容8”直徑基片

爐體結(jié)構(gòu)

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使表面溫度低于70℃

·設(shè)備中配有2個氧化鋁管堵，設(shè)備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端（保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性）

·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） 

·該爐可作為退火或擴散爐，最大可用于8”晶片放在對應(yīng)石英舟中

基本參數(shù)

熱偶：K型熱偶    建議升溫速率：≤10℃/min   

溫度：1000℃ （1100℃＜1h）  電源：AC220，50Hz   最大功率:8KW

加熱區(qū)

加熱區(qū)長度：900mm (三溫區(qū)：300mm+300mm+300mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

密封法蘭

·采用鉸鏈式法蘭和O形密封圈加上機械泵可使真空度達到10-2Torr

·可選購一套溫度測試裝置（鎧裝熱偶、補償導(dǎo)線和溫度儀表），用于測試爐管內(nèi)部的溫度

·左側(cè)水冷法蘭：真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭

·右側(cè)水冷法蘭：kf40真空接口，方便連接到kf40適用的波紋管、泵和kf40擋板閥。（如果您的泵是kf25接口，你需要一個kf40-kf25轉(zhuǎn)接頭）

溫控系統(tǒng)

·包含一款YD518P型溫度控制器

·PID自動控溫系統(tǒng)

·智能化30段可編程控制

·控溫精度：±1℃

·三個溫區(qū)分別有三個獨立的溫控系統(tǒng)控制

·默認DB9 PC通信連接端口

·通過MET認證

·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

溫度校準（可選）

·定期對管式爐進行溫度校準，可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包，輔助您完成這項工作，完整的校準套件包括

·48”L（1/4”OD）K型熱電偶校準

·一Omega溫度校準器

·熱電偶補償線

·可以考慮分子泵，真空度可達10-5Torr

外形尺寸

1880 L x 700W x 930 H mm

凈重

約200 kg

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 

真空系統(tǒng)

·多種真空系統(tǒng)可選

·可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染

質(zhì)量認證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。

使用注意事項

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

·石英管的長時間使用溫度＜1100℃

·對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）