合肥科晶1150℃三溫區(qū)8.5"管式爐GSL-1100X-III-8.5T

爐體結(jié)構(gòu)

• 采用雙層殼體風(fēng)冷系統(tǒng)，工作時(shí)使得殼體表面溫度<60°C。
• 采用高純度氧化鋁作為爐膛材料，保溫性能極佳，最大限度減少熱量損失。
• 通過(guò)觸摸屏控制工作溫度，真空度，水冷機(jī)組
• 在爐子底部安裝有水冷和高真空機(jī)組
• 采用鉸鏈水冷法蘭，操作方便簡(jiǎn)潔

石英管尺寸

• 采用高純度石英管
• 尺寸:  216 O.D x 206 I.D x 1300mm L  (8.5" O.D x 8.1" I.D x 51" L)
• 提示：石英管是損耗品，
• 警告：石英管是易碎品，請(qǐng)妥善保管。人為損壞不在保修范圍內(nèi)。
• 標(biāo)配兩塊氧化鋁纖維管堵，用于阻擋管內(nèi)的熱輻射（加熱爐在工作時(shí)必須放入管堵）
• 可選石英管堵，提高潔凈度及真空度
     

加熱區(qū)

• 總加熱區(qū)長(zhǎng)度： 900 mm (36")
• 三個(gè)區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12"每個(gè)加熱區(qū))
• 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 750 mm (三個(gè)溫區(qū)可設(shè)置相同的溫度，誤差為+/- 2°C)  
• 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系 

工作溫度

• 最高工作溫度 1150°C
• 連續(xù)工作: 200~1100°C
• 最大加熱/冷卻速率: 10°C/min
• 溫度分布圖

溫度控制

• 配備一塊觸摸屏控制溫度
• 三個(gè)加熱區(qū)可分別設(shè)置30段升降溫程序
• 控溫精度+/- 1°C
• 每個(gè)溫區(qū)都配備一個(gè)K型omega原裝熱電偶

真空泵系統(tǒng)

• 在爐子下方配備了一個(gè)數(shù)子分子泵系統(tǒng)
• 最高真空度可達(dá)10^-5 torr
• 真空泵由觸摸屏控制

真空系統(tǒng)及法蘭

• 配備一對(duì)水冷密封法蘭（鉸鏈法蘭）
• 左法蘭配備：真空計(jì)和觸摸屏控制的電磁閥（用于控制爐內(nèi)氣氛環(huán)境）
• 右法蘭配備：KF40真空接口，用于連接真空泵接口上的電磁閥
• 法蘭外端配備一個(gè)外徑1/4"的熱電偶插口，用于方便進(jìn)行溫度校準(zhǔn)
• 爐子底部配備有一個(gè)16L/min水冷機(jī)，用于水冷法蘭的供水
    

可選

可以另配混氣系統(tǒng)用于CVD實(shí)驗(yàn)
     

額定電壓

• 單相, 220V AC, 50/60 Hz
• 包括AWG 8#電源線

最大功率

12KW (需50A的空氣開關(guān) )

產(chǎn)品尺寸

 L 1700×W 750 × H1800mm  
 

凈重

250Kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（爐管，密封圈，加熱元件易耗件除外）

質(zhì)量認(rèn)證

• CE認(rèn)證
• 所有電器元件（＞24V）都通過(guò)了UL/MET/CSA認(rèn)證
      

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
• 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
• 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）