合肥科晶1100℃快速熱處理爐GSL-1100X-RTP50

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

• 配置單端封口石英管，一滑軌安裝在右側(cè)法蘭處用于爐管的手動(dòng)移動(dòng)

• 管子一端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機(jī)械泵可到10-3Torr。

• 法蘭處可插入一根直徑1/4”熱偶用來(lái)監(jiān)測(cè)管內(nèi)實(shí)際溫度

工作電源

• 電壓：AC208-240V，50/60Hz

• 功率：2.5KW

最高工作溫度

• 1100℃

溫度精度

• ±1℃

加熱區(qū)長(zhǎng)度

• 152mm

恒溫區(qū)

• 100mm（±1℃）

加熱元件

• 硅碳棒4根

熱電偶

• 2個(gè)S型熱電偶：1根用于測(cè)量和控制爐體溫度，1根用于監(jiān)測(cè)爐管內(nèi)樣品的實(shí)時(shí)溫度

溫度控制

• 兩個(gè)溫區(qū)分別由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

• 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序

• 設(shè)置有超溫和斷偶保護(hù)

• 控溫精度為±1℃

• 設(shè)備面板上帶有RS485通訊接口

• 可選購(gòu)PC控制模塊，可采用電腦來(lái)設(shè)置和顯示溫度曲線(xiàn)

加熱和冷卻速率

加熱速率:

30°C/sec (RT - 500°C);

12°C/sec (500°C - 800°C);

5°C/sec (800°C - 900°C);

3.6°C/sec (900°C - 1000°C);

1°C/sec (1000°C - 1100°C);

冷卻速率:

16°C/sec (1100°C - 800°C);

9°C/sec (800°C - 600°C);

5°C/sec (600°C - 500°C);

3.6°C/sec (500°C - 400°C);

2.5°C/sec (400°C - 300°C);

爐管尺寸

• 單端封口高純石英管

尺寸：50mm OD×44mm ID×304.8mm L

最高工作溫度：1100℃（常壓下）

                              1000℃（真空下）

• 可選：CF高真空法蘭

最高溫度：1000℃，10-6Torr

滑軌

• 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌

• 滑動(dòng)長(zhǎng)度：350mm

密封法蘭

• 管子一端安裝真空法蘭，標(biāo)配一機(jī)械壓力表

• 法蘭處可插入一根直徑1/4”熱偶用來(lái)監(jiān)測(cè)管內(nèi)實(shí)際溫度

真空度

• 取決于所選真空泵（真空泵不在標(biāo)配中）

• 10-5Torr（采用分子泵）

• 10-2Torr(采用機(jī)械泵)

產(chǎn)品尺寸

• 400mm L×305mm W×530mm H

產(chǎn)品重量

• ~45kg

質(zhì)保期

• 一年保質(zhì)期，終生維護(hù)（加熱元件、石英管、密封圈等耗材不在保修范圍內(nèi)）

質(zhì)量認(rèn)證

• CE認(rèn)證

使用注意事項(xiàng)

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

• 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

• 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃

• 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

應(yīng)用注意事項(xiàng)

• 可利用此設(shè)備DIY構(gòu)建快速熱蒸發(fā)以及物理化學(xué)氣相沉積工藝，如下圖：