1200℃小型單溫區(qū)大口徑開啟式管式爐OTF-1200X-5S合肥科晶產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐,其最高工作溫度可以達(dá)到1200℃。爐管Φ130mm(或100mm)的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐最多可對(duì)4英寸的晶片進(jìn)行退火。
1200℃小型單溫區(qū)大口徑開啟式管式爐OTF-1200X-5S合肥科晶產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
名稱 |
1200℃小型單溫區(qū)大口徑開啟式管式爐--OTF-1200X-5S |
主要參數(shù) |
·最高工作溫度:1200℃(<0.5小時(shí))
·連續(xù)工作溫度:1150℃
·建議加熱速率:≦10℃/min
·功率:3KW
·電壓:AC 220V 50Hz
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爐體結(jié)構(gòu)
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·雙層殼體結(jié)構(gòu) ·采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率,保證溫度均勻性 ·此款管式爐也可做為立式爐使用 |
加熱區(qū)
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·加熱區(qū)長度:300mm 注:由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響,測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差,此參數(shù)僅供參考,不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系。 |
溫控系統(tǒng) |
·采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序
·帶有超溫和斷偶保護(hù)
·可選購MTS02-B控溫模塊,可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序 |
歐陸儀表(可選) |
·可選購歐陸型溫控儀表,控溫精確度可以提升到±0.1℃。
·具體詳情請(qǐng)致電公司銷售。
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加熱元件 |
摻鉬鐵鉻鋁合金 |
爐管 |
·石英管口徑可選:130mm或100mm
·配有2個(gè)氧化鋁管堵,使用設(shè)備時(shí)應(yīng)放在爐管兩端,保證恒溫區(qū)和法蘭密封性
·可選購石英管堵,提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空
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真空密封法蘭
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·配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封
·右端法蘭為KF25接口,用于連接真空泵
·左端法蘭上安裝有機(jī)械壓力表,接口為1/4英寸卡套接頭,用于連接氣瓶
·真空度:10-2torr (采用機(jī)械泵)
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·可選:5英寸的水冷鉸鏈法蘭,并帶有支撐架
·水冷法蘭通入冷卻水后,設(shè)備最高溫度可以達(dá)到1100℃(<1小時(shí))
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真空泵連接 &可選 |
·您可能需要在真空端部安裝一個(gè)真空閥
·您可以訂購帶真空泵和溫度校準(zhǔn)套件的爐子
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真空壓力表 |
·安裝有一機(jī)械壓力表,測(cè)量范圍為-0.1~0.15MPa
·可選購數(shù)顯防腐真空計(jì)當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí),不需因測(cè)量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換,測(cè)量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr
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鎧裝熱電偶(可選) |
·可選購鎧裝K型熱電偶,通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內(nèi)部,測(cè)量樣品的實(shí)際溫度
·可選購一個(gè)法蘭支撐架,防止?fàn)t管轉(zhuǎn)動(dòng)
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外形尺寸 |
·爐蓋關(guān)閉時(shí):960mm(L)×500mm(W)×450mm(H)
·爐蓋打開時(shí):960mm(L)×660mm(W)×710mm(H)
·控制盒尺寸:200mm(L)×300mm(W)×360mm(H)
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凈重 |
48 Kg |
認(rèn)證 |
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質(zhì)保期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
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應(yīng)用注意事項(xiàng) |
·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊并同時(shí)保護(hù)爐內(nèi)溫場(chǎng)。
·石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃
·對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
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