合肥科晶1200℃雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)爐OTF-1200X-5-R-II

管式爐結(jié)構(gòu)

l 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

l 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，可以最大程度減小能量損失

l 直流電機帶動石英管轉(zhuǎn)動，其轉(zhuǎn)速為0 - 10RPM

l 爐體設(shè)計為開啟式，以便于操作和對樣品進行快速冷卻

工作電源

電壓：220V AC  功率：2.5KW

加熱區(qū)

l 兩個溫區(qū)總長度：300mm（150mm+150mm）

l 恒溫區(qū)長度：180mm

工作溫度

l 連續(xù)工作溫度：1100°C

l 最高工作溫度：1150℃（＜1h）

溫度控制

l 兩個溫區(qū)采用兩個溫控系統(tǒng)獨立控制，都采用PID方式調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升降溫程序

l 爐體上安裝有RS485接口，可選購控溫模塊，采用電腦控制爐體升溫

爐管參數(shù)

l 高純石英管，最高工作溫度：1200℃

l 石英管尺寸：60mm OD（兩端）x 127mm OD（中間）x1100mm L

l 內(nèi)部焊接有楊料板，使粉體燒結(jié)更加充分和均勻

密封法蘭

• 爐管包含一套密封法蘭，標準配置如下：

• 采用磁流體密封法蘭，保證爐管轉(zhuǎn)動時，法蘭前端的連接管不轉(zhuǎn)動

• 進出料端采用快接法蘭，方便進行裝卸料

    • 機械壓力表（范圍-0.1MPa~0.15MPa）

    • 不銹鋼針閥&1/4’’軟管接頭，KF25真空接頭以及1/4’’接頭

• 真空度：4.5*10-2Torr（用機械泵）

旋轉(zhuǎn)速度

 0-10rpm可調(diào)

爐體傾斜角度

無傾斜功能,客戶可在爐體下方加墊爐磚達到傾斜效果

質(zhì)保期

一年保質(zhì)期，終生維護

質(zhì)量認證

CE認證

產(chǎn)品重量

30kg

• 爐體：1440mm(L) x 430mm(W) x 480mm(H)

• 電源箱：250mm(L) x 350mm(W) x 415mm(H)

應(yīng)用注意事項

l 通過容積式給料器可實現(xiàn)連續(xù)喂料（可查看左側(cè)圖片）

l 采用該設(shè)備做CVD實驗時，可選購本公司的多路混氣系統(tǒng)進行氣體精確配比及流量控制（可查看右側(cè)圖片）

警告

l 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

l 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

l 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

l 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

l 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

l 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）