合肥科晶1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD管式爐OTF-1200X-5L-R-CVD

名稱

1200℃ 5英寸三溫區(qū)可傾斜旋轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

爐體結(jié)構

·采用雙層殼體結(jié)構，并帶有風冷系統(tǒng)  

·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）  

·一個直流電機驅(qū)動爐管轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)速為可調(diào) 

·爐體開啟式設計，方便更換爐管 

·爐體可以傾斜，傾斜角度可調(diào) 

·設有開門斷電功能,提高實驗安全性  

基本參數(shù)

溫度：1100℃ （1200℃＜1h）     建議升溫速率：≤10℃/min 

熱偶：K型熱偶       電源：AC208-240，50Hz   最大4KW 

加熱區(qū)長度：600mm  三溫區(qū)：150mm+300mm+150mm

爐管尺寸

異型石英管，內(nèi)部焊接有揚料板，使粉體燒結(jié)更加充分和均勻 

尺寸：100 mm OD x 1200 mm L （異型管） 

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

溫控系統(tǒng)

·三個溫區(qū)分別有三個獨立的溫控系統(tǒng)控制 

·包含一款YD518P型溫度控制器 

·PID自動控溫系統(tǒng) 

·智能化30段可編程控制 

·控溫精度：±1℃ 

·默認DB9 PC通信連接端口 

·通過MET認證

·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)

爐體傾斜角度

可調(diào)范圍：-5° -  25°

氣密配件

采用磁流體法蘭密封

進氣系統(tǒng)

·四通道精密氣體混合和輸送系統(tǒng)，配有觸摸屏，用于1-4種氣體CVD 

·注意：如果通入的是易燃易爆型氣體，必須將設備安裝在通風柜中

外形尺寸

·設備尺寸：1950mmL X 600mmW X 1320mmH 

·混氣系統(tǒng)：600mmL X 750mmW X 700mmH

凈重

 回轉(zhuǎn)爐：約130 Kg

使用提示

·此套設備可以配合本公司連續(xù)送料裝置來達到連續(xù)進料的效果（圖一、二） 

·在收集粉末時需要在密封容器中傳送的情況下，可以在我公司購買與爐管一起安裝的密封裝置。這種裝置包括帶內(nèi)螺紋法蘭、柔性波紋管、直角管、帶有蝶形閥的容器和支撐架。客戶可以很簡單的將帶有蝶閥的收集罐與設備斷開鏈接，并在運輸過程保持密封。點擊下列圖片查看詳情（圖三）

圖一	圖二	圖三

質(zhì)保期

一年保修，終身技術支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

真空系統(tǒng)

·通過機械泵可達到10E-2 Torr 

·通過分子泵泵可達到10E-5 Torr 

·可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染

國家專利

專利名稱：一種可傾斜式回轉(zhuǎn)爐 

專利編號:ZL-2011-2-0162234.8 

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權必究

質(zhì)量認證

·所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

使用注意事項

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 

·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 

·當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當 

·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 

·石英管的長時間使用溫度＜1100℃

 ·對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）