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1200℃ CVD爐OTF-1200X-S-FB合肥科晶產品簡介：
OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式管式爐，專門針對粉末表面沉積的CVD實驗，爐管為高純石英管，爐管內部嵌有一多孔石英板，石英板的孔徑為5-15um.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進行沉積實驗。
1200℃ CVD爐OTF-1200X-S-FB合肥科晶產品技術參數：
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名稱 |
1200℃小型流化床CVD爐（FBCVD適用于粉末樣品） |
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視頻 |
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爐體結構
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l采用雙層殼體結構并帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于60℃ l爐體設計為開啟式，以方便與更換爐管 l采用高純氧化鋁作為爐膛材料，爐膛表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命
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基本參數 |
溫度：最高1200℃ （長期1100℃） 建議升溫速率：≤10℃/min 熱偶：K型熱偶 電源：220V 最大功率：1.2KW
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流化區(qū)域
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l反應氣體均勻地通過反應區(qū) l固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內 l爐體設計為開啟式，當實驗結束后，可將爐體打開，拿出石英管，取出反應后的顆粒。 l注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時，也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節(jié)氣體流量
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爐管&多孔石英板 |
l孔徑：10-15微米 l尺寸：φ22mm x 4mm 厚
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爐管尺寸和材料
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l采用高純特質石英爐管 l爐管尺寸：兩端Φ25mm（中間Φ50mm）；長482mm
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加熱區(qū) |
加熱區(qū)長度：200mm |
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加熱元件 |
摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命） |
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溫控系統(tǒng) |
l包含一款YD518P型溫度控制器 lPID自動控溫系統(tǒng) l智能化30段可編程控制 l控溫精度：±1℃ l默認DB9 PC通信連接端口 l通過MET認證 l可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據。
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密封法蘭 |
儀器中配有一對不銹鋼密封法蘭，上面安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表 |
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可選 |
為了良好的控制氣體流量，可選配下面浮子或質子流量計
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外形尺寸 |
340mm×300mm×1300mm ( W x L x H) |
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凈重 |
約20 kg |
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質保期 |
一年保修，終身技術支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
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真空度 |
l真空泵可選
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質量認證 |
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使用注意事項
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l在通入氣體懸浮起樣品顆粒時，也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節(jié)氣體流量 l爐管內氣壓不可高于0.02MPa l由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。 l石英管的長時間使用溫度＜1100℃ l當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當。 l進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊。 l對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
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