合肥科晶1200℃雙溫區(qū)開啟立式爐OTF-1200X-VT-II

名稱

1200℃雙溫區(qū)開啟立式爐-OTF-1200X-VT-II

爐體結(jié)構(gòu)

l采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于60℃ 

l爐體設(shè)計(jì)為開啟式，以方便與更換爐管 

l采用高純氧化鋁作為爐膛材料，爐膛表面涂有美國進(jìn)口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命

基本參數(shù)

溫度：長期1100℃ （1200℃＜1h）    

建議升溫速率：≤10℃/min   

熱偶：K型熱偶       

電壓：AC208-240，50Hz    

最大功率： 3KW

爐管尺寸

以下幾種尺寸的高純度石英管可選： 

lOD：Φ50 mm×L1000mm 

lOD：Φ60 mm×L1000mm 

lOD：Φ80 mm×L1000mm

lOD：Φ100 mm×L1000mm

加熱區(qū)

加熱區(qū)長度：400mm (雙溫區(qū)200+200mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

溫控系統(tǒng)

l包含一款YD518P型溫度控制器 

lPID自動控溫系統(tǒng)

l智能化30段可編程控制 

l控溫精度：±1℃ 

l默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 

l通過MET認(rèn)證 

l可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。

密封法蘭

1.上端法蘭上焊有一吊環(huán)，以方便用高溫絲將樣品吊在爐管中進(jìn)行燒結(jié)

2.可選：本公司生產(chǎn)的帶鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空計(jì)

3.多種接頭可選，具體請咨詢銷售部

應(yīng)用提示

l參照圖片，了解怎樣用立式爐對樣品進(jìn)行淬火 

l圖1：用傳統(tǒng)的方法將懸掛絲剪斷，樣品墜落 

l圖2：使用電磁閥使樣品墜落

圖1	圖2	圖3	圖4

l圖5：可將此立式爐改造為HPCVD（混合物理化學(xué)氣相沉積實(shí)驗(yàn)爐） 

l圖6：也可用此設(shè)備來對樣品進(jìn)行焊接 

l圖4：可在本公司可以訂購高溫絲（鎳鉻合金），可達(dá)溫度1100

圖5	圖6

外形尺寸

600mm（L）×600mm（W）×2000（H）（包含管子法蘭的整體尺寸）

凈重

約80 kg（不包含移動爐架）

國家專利

專利名稱：立式開啟式管式爐

專利編號：ZL-2011-2-0162248. X 

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

真空系統(tǒng)

l通過機(jī)械泵可達(dá)到10E-2 Torr. 

l通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr. 

l漏氣率< 5 mTorr / min.

質(zhì)量認(rèn)證

• 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

使用注意事項(xiàng)

l爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 

l由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全。 

l石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃。

l當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)。

l進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊。 

l對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）