合肥科晶高真空4"RTP 爐 OTF-1200X-4-RTP-HV

爐子

• Compact 4“ RTP Tube Furnace（雙層莫來石鋼構(gòu))
• 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

工作溫度

• 最高1100°C
• 爐子可以加熱到1100°C, 可以打開上蓋進(jìn)行快速冷卻

溫控儀

• PID 自動控制，30段程序帶過熱和斷偶保護(hù)功能
• 熱偶: K type
• 自整定功能
• 控溫精度: +/- 0.5°C
•  RS485 串口和溫控軟件

控制芯片 + 數(shù)據(jù)線 + 軟件	軟件界面	溫度曲線

石英管和樣品架

• 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
• 3" 的樣品架固定在滑動法蘭上，石英材料
•  一片3"  AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。
• AlN 具有很高的熱導(dǎo)率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性。

• 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個高溫“O”型圈密封，.
• 滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。
• 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計測量其真空度，其測量范圍為3.8x10-5 至1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點擊圖片查看詳細(xì)介紹）
  

208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 

最大功率12KW. (> 60A 保險)

高真空系統(tǒng)

• 移動架尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(W), mm
• 最大承重:       600 Lbs 
• 分子泵控制面板 :   LCD 顯示
• 前級泵 和  分子泵 安裝在移動架里面.

• 一鍵操作 - 按一下“start"鍵，前級泵和分子泵便開始工作.
• 系統(tǒng)控制轉(zhuǎn)速 - 根據(jù)真空度和腔體的漏氣情況自動調(diào)整轉(zhuǎn)速.
• 自保護(hù)功能 - 如果真空腔體漏氣率太高不能達(dá)到高真空，系統(tǒng)會自動保護(hù)，避免因過熱或過流而造成損壞。
• LCD 顯示屏 - 雙線性參數(shù)檢查界面，使操作更簡單.

自測試	旋轉(zhuǎn)狀態(tài)

• RTP 爐子: 110 lbs,  760 x 330 x 530mm (30" x 13" x 21" inch) L x W x H
• 高真空系統(tǒng): 40 lbs,  600 x 600 x 700mm (24" x 24" x 28") L x W x H

國家專利

專利名稱：一種快速高溫退火爐 

專利編號：ZL-2011-2-0077168.4

尊重創(chuàng)新,鄙視抄襲，侵權(quán)必究

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
• 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）