合肥科晶近距離蒸發(fā)鍍膜儀（CSS）爐OTF-1200X-RTP-II

名稱

3英寸近距離蒸發(fā)鍍膜儀（ CSS）爐OTF-1200X-RTP-II

爐體結(jié)構(gòu)&真空腔

·兩個獨立的加熱裝置，兩個獨立控溫裝置及兩路浮子流量計均被精巧的設(shè)計在一個可移動的鋁合金框架上。 

·腔體是由高純石英管制成 

·真空法蘭由不銹鋼制成

基本參數(shù)

·石英腔體尺寸：11"O.D×10.8"I.D×9"H mm 

·推薦加熱速率：≦10℃/s 

·最高工作溫度：≦600℃ 

·總功率：8KW（8根紅外燈管，單根功率1KW） 

·電壓：AC220V，50Hz，單相（需20A的空氣開關(guān)）

加熱元件和載樣臺

·由兩組紅外燈管作為加熱元件可實現(xiàn)快速加熱 

·兩個獨立的加熱裝置之間的距離可調(diào)0-70mm 

·為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構(gòu)上 

·一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部 

·緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（Ф3"×T0.5 mm ），使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻 

·可將AlN陶瓷片更換為石墨片（圖3） 

·3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發(fā)料    

·如需要更換紅外燈管（圖4）

圖1	圖2	圖3	圖4

真空法蘭

·真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作 

·頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口 

·底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口 

·法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過機械泵（標配不含機械泵）抽真空度可達10-2 torr，頂部法蘭可手動操作進行上下移動來進行加載/卸載襯底和蒸發(fā)料。 

·一個防腐型數(shù)顯式真空表安裝在法蘭頂部，可精確測量腔體內(nèi)真空度。

溫控系統(tǒng)

·兩個數(shù)顯式溫控表都可設(shè)置30段控溫程序 

·每個溫控表都具有PID調(diào)節(jié)功能，保護加熱器不受過熱影響同時具有報警功能，避免過熱使熱電偶損壞 

·該設(shè)備可與計算機相連接，可選購控溫軟件，將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導入電腦中。

工作溫度

每個加熱器最高溫度:≦600℃

熱電偶

兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

混氣系統(tǒng)

可選配件

水冷機

外形尺寸

850(L)×745(W)×1615(H) mm

認證

CE認證

應用提示

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警告

·石英管密封采用真空密封，管內(nèi)可處于微正壓但壓力要小于0.02MPa。 

·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。 

·當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)。 

·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

保修期

一年保修，終身技術(shù)支持。 

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。