合肥科晶雙爐體滑動管式爐TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

名稱

1200℃小型雙爐體滑動管式爐-TCVD--OTF-1200X-S2-50SL  

爐體結(jié)構(gòu)

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使表面溫度低于70℃ 

·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）  

·可選購石英管堵及石英坩堝，可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度（圖3-4） 

·設(shè)有開門斷電功能,提高實驗安全性（圖5-6） 

·爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動，爐子可以滑動700mm的距離

圖1	圖2	圖3	圖4

圖5	圖6

基本參數(shù)

熱偶：K型熱偶        爐建議升溫速率：≤10℃/min    

溫度：1100℃ （1200℃＜1h）     電源：AC220，50Hz   最大3KW

高純石英管尺寸

·尺寸：50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

加熱區(qū)

每個加熱爐加熱區(qū)長度：200mm

密封法蘭

·一對SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi) 

·兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上（圖一） 

·一個真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭（圖一） 

·可選：您可以選購kf25真空口法蘭（圖二） 

·您可以訂購法蘭支架（圖三）

圖一	圖二	圖三

溫控系統(tǒng)

·包含一款808P型溫度控制器 

·PID自動控溫系統(tǒng) 

·智能化30段可編程控制 

·控溫精度：±1℃ 

·默認DB9 PC通信連接端口 

·通過MET認證 

可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。

可選

·可選購電動滑軌（圖一） 

·可選購1-9通道混氣系統(tǒng)（圖二） 

·100W-500W的射頻等離子源，與管式爐配合可搭建起等離子增強的加熱CVD系統(tǒng)（圖三）

圖一	圖二	圖三	圖四

溫度校準(zhǔn)（可選）

·定期對管式爐進行溫度校準(zhǔn)，可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準(zhǔn)工具包，輔助您完成這項工作，完整的校準(zhǔn)套件包括： 

·48”L（1/4”OD）K型熱電偶校準(zhǔn) 

·一Omega溫度校準(zhǔn)器 

·熱電偶補償線

 你可以考慮分子泵，真空度可達10-5Torr

滑軌

·鍍鉻鋼制成的雙滑軌 

·滑軌長度：1600mm 

·滑軌中包含兩個個固定裝置，用于固定爐子的位置

真空系統(tǒng)（可選）

·用機械泵真空度達 50 mtorr 

·用分子泵真空度可達 10E-4 torr 

尺寸

爐體：340mm L x 330mm W x 400mm H

整體：1600mm L x 430mm W x 500mm H

凈重

80Kg

保修期

一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

認證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。

使用注意事項

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 

·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 

·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng) 

·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 

·石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 

·對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） 

·提示：最大的加熱和冷卻速度是通過將爐管的一側(cè)預(yù)熱到目標(biāo)溫度，然后將爐子滑到另一側(cè)來實現(xiàn)的。 您可以選擇將樣品放置在預(yù)熱區(qū)域。