合肥科晶定向CVD生長爐--OTF-1200X-50-DSL

爐體結(jié)構(gòu)

• 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
• 一個滑軌安裝在爐體下端，可通過一6“的觸摸屏來控制爐體移動方向、滑動速度和往返次數(shù)
• 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有美國進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率和延長使用壽命。

功率

1.5KW

電壓

AC220V，單相

最高共工作溫度

1200℃（≤1小時）

連續(xù)工作溫度

1100℃

加熱區(qū)域

• 加熱區(qū)：200mm(單溫區(qū)）
• 通過管堵位置和爐體移動可形成想得到的溫度梯度

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有高溫氧化鋯涂層，可延長其使用壽命）

爐管

• 高純石英管
• 尺寸：50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L
• 儀器加熱前，必須放入管堵，以防止熱量輻射影響法蘭的密封性

溫控系統(tǒng)

• 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升溫、降溫和保溫程序
• 設(shè)置有溫度過高和斷偶保護(hù)系統(tǒng)
• 控溫精度：±1℃
• 可選測PC控制軟件，將升溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中
• 控溫儀表操作視頻

爐體滑動控制系統(tǒng)

• 觸摸屏控制
• 爐體移動有手動和自動控制兩種控制狀態(tài)，在手動狀態(tài)和自動狀態(tài)下均可設(shè)定左右移動的速度，但只有在自動狀態(tài)下才能設(shè)定左右移動的次數(shù)。
• 含蜂鳴報警器，當(dāng)爐體觸碰到限位開關(guān)就會產(chǎn)生報警，并切斷控制電路，使?fàn)t體停止移動。
• 可顯示高溫爐內(nèi)的爐溫，與之通訊

密封法蘭

• 儀器中配有一套不銹鋼密封法蘭（上面已安裝不銹鋼針閥和機械壓力表）
• 法蘭上有一Φ6.35的鎧裝孔，可將熱電偶插入到爐管中，更準(zhǔn)確地測量樣品的實際溫度
  

可選配石英氣體噴嘴，將反應(yīng)氣體與緩沖清洗氣體分開通入，可有效減少副反應(yīng)發(fā)生，實現(xiàn)高端CVD工藝，如局部控制前體濃度化學(xué)氣相沉積工藝（ALC CVD）或單晶二維材料薄膜的生長工藝等。

真空度

• 10E-5 torr （用分子泵）
• 10E-2 torr （用直聯(lián)式機械泵）
  
    

滑軌長度

1200mm

產(chǎn)品尺寸

• 315 x 300 x 380  mm (爐體) 
• 1200 x 400 x 530 mm ( 整個外形)
• 360 x 180 x 300 mm（電器控制柜）

重量

100KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件損耗件）

質(zhì)量認(rèn)證

  CE certified