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雙溫區(qū)開(kāi)啟式真空管式爐OTF-1200X-80-II-F3LV
 
   
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合肥科晶雙溫區(qū)開(kāi)啟式真空管式爐OTF-1200X-80-II-F3LV

功率:2.5 KW,電壓:AC 208-240V單相, 50/60 Hz,加熱元件:Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,最高工作溫度:1200 ℃,連續(xù)工作溫度:1100 ℃,最大升溫速率:≤20 ℃ /min,爐管尺寸和材質(zhì):石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm

  • 品  牌:合肥科晶
  • 商品編號(hào):BN-EAA429A6
  • 市場(chǎng)價(jià) ¥0 (全國(guó)免運(yùn)費(fèi))價(jià)格僅供參考,請(qǐng)電話或在線咨詢優(yōu)惠價(jià)!
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雙溫區(qū)開(kāi)啟式真空管式爐OTF-1200X-80-II-F3LV合肥科晶產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

雙溫區(qū)開(kāi)啟式真空管式爐OTF-1200X-80-II-F3LV合肥科晶產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):

殼體結(jié)構(gòu)

  • 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于 55 ℃
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

功率

        2.5 KW

電壓

        AC 208-240V單相, 50/60 Hz

加熱元件

        Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

最高工作溫度

       1200 ℃

連續(xù)工作溫度

       1100 ℃

最大升溫速率

       ≤20 ℃ /min

爐管尺寸和材質(zhì)

     石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度

  • 兩個(gè)加熱區(qū):  每個(gè)溫區(qū)200 mm (8")  
  • 總加熱區(qū)長(zhǎng)度400 mm 

溫度控制器

  • 兩個(gè)精密的溫度控制器,單獨(dú)的控制兩個(gè)溫區(qū)
  • PID方式控制,通過(guò)PWM固體繼電器
  • 30 可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀,可設(shè)置30段升降溫程序
  • 帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)
  • 控溫儀表操作視頻

控溫精度

        +/- 1 ℃

真空密封系統(tǒng)

  • 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭,法蘭上有KF-25接口和法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表(圖片中的藍(lán)表為選配)閥門
  • 真空度:通過(guò)機(jī)械泵真空度可以達(dá)到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr),如想獲得更高的真空度可以采用分子泵,真空度可以達(dá)到10-5 torr.
  • ·泄漏率< 5 m-torr/min(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)
     
     

真空泵

 

      采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有油污過(guò)濾器,可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過(guò)濾的最小微粒直徑為0.3微米。

防腐型真空計(jì)

      可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
     

 

混氣系統(tǒng)

 

 

 

  • 3個(gè)浮子流量計(jì)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上,可以推動(dòng),可同時(shí)混入三種不同氣體。 
  • 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min.  
  • 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.  
  • 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
  • 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上,壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ,來(lái)監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力    

閥門

    四個(gè)不銹鋼閥門安裝移動(dòng)架的側(cè)面板上分別在三個(gè)氣體的入口處

尺寸

  • 爐子: 550 x 380 x 520 
  • 移動(dòng)架: 600x600x597
開(kāi)門斷電

   為保證使用安全,該電爐為開(kāi)門斷電設(shè)計(jì)
     
  

 

 凈重

     約60KG 

運(yùn)輸重量

     600 lbs 

質(zhì)保期

     一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

  • CE認(rèn)證
  • 所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL/MET/CSA認(rèn)證
  • 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證   
          

 

使用注意事項(xiàng)

  • ·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
  • ·由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
  • ·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
  • ·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
  • ·石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100
  • ·對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

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