雙溫區(qū)開(kāi)啟式真空管式爐OTF-1200X-80-II-F3LV合肥科晶產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達(dá)到 10-2 torr.
雙溫區(qū)開(kāi)啟式真空管式爐OTF-1200X-80-II-F3LV合肥科晶產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
殼體結(jié)構(gòu) |
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功率 |
2.5 KW |
電壓 |
AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
加熱元件 |
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
最高工作溫度 |
1200 ℃ |
連續(xù)工作溫度 |
1100 ℃ |
最大升溫速率 |
≤20 ℃ /min |
爐管尺寸和材質(zhì) |
石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
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溫度控制器 |
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控溫精度 |
+/- 1 ℃ |
真空密封系統(tǒng) |
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真空泵
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采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有油污過(guò)濾器,可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過(guò)濾的最小微粒直徑為0.3微米。 |
防腐型真空計(jì) |
可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
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混氣系統(tǒng)
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閥門 |
四個(gè)不銹鋼閥門安裝移動(dòng)架的側(cè)面板上分別在三個(gè)氣體的入口處 |
尺寸 |
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開(kāi)門斷電 |
為保證使用安全,該電爐為開(kāi)門斷電設(shè)計(jì)
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凈重 |
約60KG |
運(yùn)輸重量 |
600 lbs |
質(zhì)保期 |
一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件 |
質(zhì)量認(rèn)證 |
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使用注意事項(xiàng) |
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