1400℃雙溫區(qū)管式爐GSL-1400X-II合肥科晶產(chǎn)品簡介:
GSL-1400X-II是一款CE認證的雙溫區(qū)高溫管式爐,每個加熱區(qū)長度12",由30段智能溫度調(diào)采用硅碳棒作為加熱元件,最高工作溫度可達到1400℃??赏ㄟ^調(diào)節(jié)兩個溫區(qū)的控溫程序使爐管內(nèi)溫場形成一溫度梯度,此系列管式爐可以用CVD或PVD方法來生長納米材料和制作各種薄膜。
1400℃小型管式爐GSL-1400X合肥科晶產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
名稱 |
1400℃小型雙溫區(qū)開啟式管式爐GSL-1400X-II |
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爐體結(jié)構(gòu) |
·雙層殼體結(jié)構(gòu),可使表面溫度低于70℃ ·采用高純氧化鋁纖維做為爐膛材料,并且表面涂有氧化鋁涂層(可提高加熱效率和延長使用壽命)
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基本參數(shù) |
熱偶:S型熱偶 建議升溫速率:1400℃以下≤10℃/min ;1400℃以上≤5℃/min 溫度:1300℃ (1400℃<30min) 電源:AC380,50Hz 最大功率:6KW
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爐管尺寸 |
·材料:高純剛玉管 ·直徑φ60 ·可選購法蘭支架 |
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加熱區(qū) |
加熱區(qū)長度:580mm (雙溫區(qū):290mm+290mm) |
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加熱元件 |
U型1500級硅碳棒 |
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可選 |
1.法蘭上標配安裝的是Φ8的寶塔嘴接頭 2.為了獲得較好的抽氣速率可以配用KF25的轉(zhuǎn)接頭 3.為了較好地向爐管中通入氣體可以配用1/4"的不銹鋼卡套接頭 ·可選:您可以選購kf25真空口法蘭(圖二) ·可選:您可以訂購法蘭支架(圖三)
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溫控系
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·包含一款YD518P型溫度控制器 ·PID自動控溫系統(tǒng) ·智能化30段可編程控制 ·控溫精度:±1℃ ·兩個溫區(qū)分別有兩個獨立的溫控系統(tǒng)控制 ·默認DB9 PC通信連接端口 ·通過MET認證 ·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù) |
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外形尺寸 |
1350 L x 470 W x 750 H mm |
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凈重 |
約150Kg |
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質(zhì)保期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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真空系統(tǒng) |
·通過機械泵可達到50mTorr ·通過分子泵泵可達到10E-5 Torr ·可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染 |
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質(zhì)量認證 |
所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。 ![]() |
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使用注意事項 |
·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ·不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝 ·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ·當爐體溫度高于1500℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài) ·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱剛玉管的沖擊剛玉管的長時間使用溫度<1750℃
·對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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