合肥科晶小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀GSL-1700X-SPC-2

名稱

小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀GSL-1700X-SPC-2

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結(jié)構(gòu)＆特點

·真空腔體為直徑6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品
·安裝有一個2英寸的樣品臺，并且樣品臺可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻

·采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，最高溫度可達到1500℃，并且配用專用氧化鋁舟，可裝入樣品
·精確控溫：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ 

·氣體流量端口和閥門內(nèi)置用于腔室凈化和CVD可能性 

基本參數(shù)

溫度：最高1500℃ （1200℃以上＜1h）   建議升溫速率：≤20℃/ min （需根據(jù)工藝調(diào)整）    

熱偶：B型或者S型熱偶     電源：AC220V，50Hz   最大6KW

溫控及加熱源

·采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有專用的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制（如圖1）

·采用S型熱電偶（工作溫度為200℃-1500℃） 

·可選B型熱電偶（工作溫度為1200℃-1700℃） 

·安裝有一個數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1ºC（如圖2） 

·溫度控制器的時間設(shè)置以秒為單位，建議將升溫/降溫速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s（20ºC/ min），在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s（10ºC/min） 

·儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝（如圖4圖5）

圖1	圖2	圖3	圖4	圖5

樣品臺

·儀器頂部安裝有樣品臺，直徑為Φ50mm，并設(shè)置有擋板，方便控制蒸發(fā)鍍膜時間 

·樣品臺可旋轉(zhuǎn)，增加鍍膜均勻性 

·樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：40mm-85mm

進氣口

·進氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜 

·進氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進氣流量

可選

·程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀-GSL-1700X-EV4（圖一） 

·儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝，并用戶可額外選購鎢絲籃及氧化鋁坩堝（圖二圖三）

圖一	圖二	圖三

真空計（可選）

可選購一數(shù)顯防腐真空計，測量范圍為：3.8x10-5-1125Torr

膜厚檢測儀（可選）

·可在本公司選購精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在濺射儀上，可實時監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 Å  （圖一） 

·LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)（圖二） 

·同時可選購反射光譜薄膜測厚儀--TFMS-LD（圖三）

圖一	圖二	圖三

真空系統(tǒng)（選配）

·設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵 

·采用渦旋分子泵真空可達1.0E-5Torr，極限真空度可達4.0E-6Torr 

·雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達到10-2Torr 

·真空度達到10-2torr時，可蒸發(fā)一些貴金屬，參考材料金和鉑，也可蒸發(fā)一些有機材料，可選購數(shù)顯防腐真空計PCG-554(測量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.) 

·高真空度可達1.0E-5Torr（采用渦旋分子泵），此時可蒸發(fā)對氧敏感的材料，參考材料Al. Mg, Li，分子泵上帶有復(fù)合真空計（最高可測量真空度為1.0E-7Torr） 

·可在本公司選購各種真空泵和真空計

·可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染

外形尺寸

490mm*330mm*560mm

質(zhì)量認(rèn)證

·所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 

使用提示

·為了獲得高真空度，可采用以下做法 

（1）使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕，并用酒精擦洗 

（2）抽真空時，用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃，氧化鋁坩堝預(yù)加熱到500℃，保持2小時

·此款蒸鍍儀可以放入到手套箱里操作，用于蒸鍍一些在常溫下對氧氣敏感的材料，比如金屬Li等，可在本公司選購開啟式手套箱VGB-6（點擊下圖查看詳情）

使用注意事項

·使用溫度高于1300℃時，保溫時間不可大于1小時，否則會損壞密封圈 

·當(dāng)腔體的各閥門關(guān)閉時，請勿開啟升溫程序或手動調(diào)節(jié)電流進行加熱 

·當(dāng)儀器正在蒸發(fā)材料時，不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵，只有當(dāng)加熱溫度降至100℃時，才可放氣或關(guān)閉真空泵 

·蒸鍍電流不宜大于40A 

·如誤將控溫儀表設(shè)為手動狀態(tài)，程序?qū)⒉荒苷＿\行 

·此設(shè)備儀表程序為秒，200℃之前升溫速度不宜大于0.5℃/S 

如果用戶選購了STC-2型薄膜測厚儀，在選用取樣片時請按：鍍純金屬時用金取樣片，鍍合金時用銀取樣片

·鎢絲籃必須在真空狀態(tài)下（＜5Pa才能通電加熱，否則會被氧化）