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真空熱壓機VHP-5T-4
 
   
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合肥科晶真空熱壓機VHP-5T-4

兩塊135mm x135mm加熱平臺,采用高溫合金鋼制成,最高可承受溫度為500℃,加熱管嵌在加熱平臺的中間,以達到快速加熱的效果

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500ºC 真空熱壓機VHP-5T-4合肥科晶產(chǎn)品簡介:
VHP-5T-4是一款電動真空平板式真空熱壓機,針對于晶片的焊接或薄膜轉(zhuǎn)移,其可處理最大樣品尺寸為100mm x 100mm。儀器最高工作溫度為500℃,在此溫度下可對樣品實加的最大壓力為6T。

500ºC 真空熱壓機VHP-5T-4合肥科晶產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):

名稱

500ºC 真空平板熱壓機--VHP-5T-4

 

 

 

視頻

 

      操作視頻

                 儀表操作視頻

  

主要參數(shù)

 

·功率:2000W 

·電源: 208 - 240VAC, 50 Hz 單相

 

 

  

結(jié)構(gòu)

 

 

·兩塊135mm x135mm加熱平臺,采用高溫合金鋼制成,最高可承受溫度為500℃ 

·加熱管嵌在加熱平臺的中間,以達到快速加熱的效果 

·兩個精密的溫控器獨立控制兩塊加熱平臺,可設(shè)置30段升降溫程序 

·水冷管設(shè)計在加熱平臺的頂端,以達到快速冷卻的效果  

    

 

 

 

液壓泵

 

·40T的電動液壓機與真空腔體相連接

·兩個加熱平臺之間的可移動距離為60mm 

·自動壓力控制并帶有數(shù)顯壓力顯示 

·壓力控制精度為+/-0.5 Mpa 

·兩個加熱平臺最高工作溫度為500℃,加熱平臺頂端安裝有冷卻水管。當(dāng)工作溫度高于200℃時,請注入冷卻水(>15L/min)

 

 

 

  

 

 

溫控系統(tǒng)和壓力顯示

 

·兩個精密的溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序,其控溫精度為±5℃,分別獨立控制兩個加熱平臺 

·溫控系統(tǒng)采用PID方式進行溫度調(diào)節(jié),并帶有過熱和斷偶保護 

·最高工作溫度為500℃ 

·建議升溫速率:0-400℃≦4/min 400-5002.5/min 

·軟件和PC接口安裝在控溫儀表上,可將溫度程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中 

·數(shù)字壓力顯示器(控制器)安裝在真空腔體外,可設(shè)置其壓力,當(dāng)壓力達到設(shè)置值時電機將自動停止

 

 

 

 

  

 

真空腔體

 

·電動液壓裝置和加熱臺都安裝在真空腔體內(nèi) 

·真空腔體采用304不銹鋼制作,并焊接有加強筋(防止真空狀態(tài)下腔體變形),真空度可以達到10E-3 torr 

·內(nèi)部腔體尺寸為:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H) 

·真空腔體前端有一直徑為150mm的觀察窗口 

·一個真空計安裝在真空腔體上,測量內(nèi)部的真空度

  

 

  

水冷(可選)

 

·一臺循環(huán)水冷,用于冷卻加熱板,防止過熱和更快冷卻。需額外購買

 

 

  

 

真空泵(可選)

 

·機械泵的真空度可以達到<5×10E-2Torr(冷態(tài)下參考值)

 

  

 

外形尺寸

 

800mm(L) x 550mm(W) x 1350mm(H)

認證

CE認證

 

 質(zhì)保期

 一年保修,終身技術(shù)支持。 

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

 

使用注意事項

注意:氣瓶上必須安裝一個減壓閥,以保證安全操作。

 

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