合肥科晶等離子濺射儀VTC-16-3HD

設(shè)備名稱

3靶等離子濺射儀-VTC-16-3HD 

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主要參數(shù)

輸入電源：220V 通用  功率：< 1KW 

工作電流： 濺射電流：0-50 mA可調(diào) 

單次工作時(shí)間：0-5分鐘可調(diào) 

靶頭數(shù)目：3個(gè)

輸出電壓：1600V DC 

樣品臺(tái)加熱溫度：500℃（選配） 

濺射腔體

l采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H 

l密封：O形密封圈密封

 樣品臺(tái)

l一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái),用于盛放基片，可以電動(dòng)控制移動(dòng)三個(gè)位置 

l濺射距離：25 - 40毫米可調(diào) 

l可選購加熱型樣品臺(tái)（最高溫度可到500℃） 

lPID控制器控溫精度+/- 1℃（已集成到觸摸屏上）

控制面板

l控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏 

l一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度

真空泵（選配）

l用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr 

l用分子泵真空度可達(dá) 10^-4 torr

進(jìn)氣口

一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量

靶材

l要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm 

l可在本公司選購靶材,具體請點(diǎn)擊鏈接

外形尺寸

460mm×330mm×540mm (L×W×H) 

凈重:50KG（不包括泵）

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

質(zhì)量認(rèn)證

認(rèn)證

各種靶材的參數(shù)（僅供參考）

對于濺射各種金屬靶材，需要摸索最理想的濺射參數(shù)，下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)

 使用注意事項(xiàng)

l由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī)或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。 

l有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜 

l為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N） 

l在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈 

l要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請?jiān)跒R射前清潔基材表面 

l超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍铮?）真空烘箱除去水分。 

l等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物 

l制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力

超聲波清洗機(jī)	等離子清洗機(jī)	大功率磁控濺射儀	蒸鍍儀	手套箱

警告

l注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體 

l氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用 

l濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶