合肥科晶等離子清洗機PDC-36G

名稱

3"等離子清洗機--PDC-36G

視頻

主要特點

·結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器 

·用各種氣體清洗和去除晶片上納米級有機污染物 

·在制膜實驗之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好 

·鉸鏈式門，方便裝樣 

·石英腔的直徑是3英寸，在里面可以放入一個石英舟，最大清洗一個2英寸的基片 

·清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更換 

·使用可調(diào)射頻電源，可以設(shè)置功率為低、中、高級別；低成本、操作安全

主要參數(shù)

·低功率設(shè)定：直流680V，10mA,6.8W 

·中功率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W 

·高功率設(shè)定：直流720V，25mA,18W 

·射頻源輸出頻率：13.56MHz 

·等離子直流電源 

·輸入電壓：220V,50Hz

等離子腔室

·直徑75mmx長200mm的石英墻體，前蓋可以開啟 

·高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長

真空計

設(shè)備標配一個數(shù)顯電阻真空機用于實時監(jiān)測清洗倉內(nèi)的真空度。

可選配件

·可以訂購額外的石英腔體，用于備用 

·如果需要一個通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機可以與2路混氣系統(tǒng)組合） 

·可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片

 真空泵和閥

·此設(shè)備不包含真空泵

工作氣體

·多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮氣、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。

 ·可以使用<4％的H2混合惰性氣體 

·警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體

等離子清洗及刻蝕的方法

外形尺寸

353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）

凈重

8kg（不含泵）

認證

CE認證

 質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。 

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

工作原理

等離子清洗機工作原理