合肥科晶等離子清洗機(jī)PCE-6

名稱

6英寸等離子清洗機(jī)--PCE-6

主要特點(diǎn)

·擁有6英寸清洗腔室，可清洗約5英寸直徑的基片 

·通過(guò)控制面板的按鍵及開(kāi)關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開(kāi)閉、清洗時(shí)間 

·時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上 

·設(shè)有一個(gè)三通閥，可大體控制進(jìn)氣流量 

主要參數(shù)

·輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W 

·總功率：<600W 

·射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié) 

·電源：AC220V  50Hz

等離子腔體

·高純石英腔體，Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗 

·帶觀察窗的鉸鏈?zhǔn)介T，便于樣品加載和觀察

 控制面板

·控制功能：清潔時(shí)間，射頻功率，真空泵。

真空泵（標(biāo)配）

·真空泵：24L/min，直連式雙旋真空泵

等離子清洗機(jī)及刻蝕的方法

 惰性氣體

·通入氣體：可通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定） 

·等離子清洗機(jī)不得使用易燃及腐蝕性氣體

可選配件

·如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案，PCE-6等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合 

·可以訂購(gòu)石英晶片載體來(lái)盛放清潔的基片

外形尺寸

400mm×300mm×300mm

凈重

10.2kg

認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。 

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

使用注意事項(xiàng)

正壓會(huì)損壞等離子石英室。