合肥科晶紫外臭氧清洗機(jī)PCE-22

名稱(chēng)

加熱型紫外臭氧清洗機(jī)--PCE-22

主要參數(shù)

·功率：最大350W 

·AC 208~240V，單相 50/60Hz

應(yīng)用

·去除分子級(jí)別的污染物 

·紫外光固化粘合劑

·紫外光催化 

·氧化PDMS 

·表面消毒 

·刻蝕 

·清洗MEMS 器件 

·清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

  紫外燈

·可發(fā)出雙波長(zhǎng)的水銀燈 

·功率：55W

·發(fā)出光的波長(zhǎng)：254 nm 和 185 nm

·使用壽命：2500 小時(shí)（可更換） 

·照射區(qū)域：200 x 200 mm

腔體&樣品臺(tái)

·不銹鋼殼體 

·抽屜式樣品臺(tái)，以便放樣取樣 

·樣品臺(tái)面積310 mm x 320 mm

·臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上 

·樣品臺(tái)與紫外燈的距離：20mm-40mm（可調(diào)） 

·樣品臺(tái)可以加熱，最高溫度可達(dá)150℃ 

·可設(shè)置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ 

·設(shè)備運(yùn)行時(shí)間：0.01 秒- 99.9小時(shí)

 排氣口

·直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端 

·請(qǐng)將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外 

·儀器中不包含橡膠管

環(huán)境要求

·僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以?xún)?nèi) 

·溫度范圍：41-104華氏度 

·最大相對(duì)濕度80％，最高87華氏度，104華氏度線(xiàn)性降至50％相對(duì)濕度 

·主電源波動(dòng)不超過(guò)額定電壓的10％

·污染等級(jí)2; 臭氧水平（環(huán)境）測(cè)量<45 ppb

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

凈重

28kg

認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。 

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。