合肥科晶等離子清洗機(jī)PCE-6V

主要特點

l采用氣體作為清洗介質(zhì)，避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。 

l可短時間內(nèi)徹底清洗掉有機(jī)污染物。 

l清洗程度可達(dá)到分子級。 

l可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。 

l清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。

l樣品臺可選配加熱功能，可加負(fù)偏壓，用以實現(xiàn)離子蝕刻。 

l廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

參數(shù)

l電壓：AC220V  10A 

l消耗功率：<500W（包括真空泵） 

lRF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz 

l腔體：Φ190mm×98mm

l石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm 

l內(nèi)腔：Φ165mm×55mm 

l清洗電極：Φ120mm

l樣品臺：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm 

l樣品臺與電極間距：15mm-50mm可調(diào) 

l抽氣管：Φ12mm 

l極限真空度：0.1Pa 

l工作真空度：60Pa-500Pa 

l氣路數(shù)量：2路（選裝）

l流量控制器數(shù)量：1、2 

l流量顯示儀：2通道 

l氣路接口：Φ6mm 

l加熱樣品臺：Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝） 

l冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa

 l工作環(huán)境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結(jié)露，海拔高度0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

l尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵） 

l重量：20kg（不含真空泵）

可選配置

l加熱樣品臺 

l流量控制器（量程10、50、100，最多可增加2個通道）