合肥科晶等離子刻蝕清洗機(jī)PCE-500W

名稱

500W等離子刻蝕清洗機(jī)-PCE-500W

主要參數(shù)

• 射頻功率：0-500W 

• 總功率：1.5KW 

• 電源：AC220V 50/60Hz

射頻電源

• 射頻功率可在0-500W之間調(diào)節(jié) 

• 頻率：13.56MHz 

注：可與本公司工作人員聯(lián)系選購1KW高功率等離子刻蝕清洗機(jī)

等離子腔體

• 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體 

• 鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封 

• 法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口 

• 此設(shè)備完全屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏

控制面板

• 通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時(shí)間和氣體流量等 

• 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 100ml/minute質(zhì)量流量計(jì)，可精確地控制進(jìn)氣流量

真空泵（選配）

• 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 

• 極限真空度為50mTorr

通入氣體

• 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定） 

• 不能使用易燃?xì)怏w及腐蝕性氣體。

可選

• 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片 

• 可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)   

產(chǎn)品尺寸

600mm L×600mm W×810mm H

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

• 一年保質(zhì)期，終生維護(hù) 

• 特別提示： 

1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

相關(guān)應(yīng)用

• 請(qǐng)自行根據(jù)您的應(yīng)用測(cè)試最佳的等離子功率 

• 對(duì)于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 -100W之間 

• 對(duì)于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在300-500W之間