合肥科晶晶體生長爐SKJ-50CZ

晶體生長爐SKJ-50CZ合肥科晶產(chǎn)品簡介：
SKJ-50CZ是一款高質(zhì)量的CZ晶體生長爐，可針對于材料的實(shí)驗(yàn)探索，也可以適用于晶體材料的生產(chǎn)。此款晶體生長爐已經(jīng)被證實(shí)可以提拉各種氧化物單晶和金屬單晶，如藍(lán)寶石、GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等，最高溫度可達(dá)2100℃，最大可長出晶體尺寸為3英寸。

晶體生長爐SKJ-50CZ合肥科晶產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
感應(yīng)射頻功率為25KW，射頻0.2 - 20 KHz
提拉速度 :0.1- 20 mm/h，仔晶桿旋轉(zhuǎn)速度0 ~~ 40 RPM
最大提拉行程：50CM
最大可熔融溫度為：2100℃
輸入電源：三相，380V，25KW
真空腔體尺寸為 ：50 cm dia. X 70 cm h，其真空度可以達(dá)到10-3 torr（用機(jī)械泵）10-5 tor（用擴(kuò)散泵）
冷卻水需求：
所需水壓 0.13~~0.18MPa   
所需水流量60 L/minute
冷卻水會(huì)同多爐腔體夾層和仔晶桿
產(chǎn)品尺寸:
爐體: L880x W1250x H2640mm
控制柜:L680x W540x H1700mm
中頻柜: L965xW 812xH 1219mm
產(chǎn)品凈重  1.5 T